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    02FPD Process Equipment

    Product

    LAT FPD Process Equipment 개요

    당사는 Inline System과 함께 FPD(Flat Penal Display) 공정을 위한 장비 사업도 활발하게 진행하고 있습니다. 기존 TCU(Thermal Control Unit), TRU(Thermal Recycle Unit) 등 온도 및 공정 환경 조성, 에너지 절감을 위한 설비들은 10년 이상의 기술 Know-how룰 축적하고 있으며, 최근 OLED 용 3D Lamination (합착기) 설비를 개발 완료하여 고객과 활발히 기술 협의 중에 있습니다.

    TCU (Thermal Control Unit)

    TRU (Thermal Recycle Unit)

    3D Laminator (3차원 형상 합착기)

    TCU (Thermal Control Unit)

    TCU는 FPD 제작 핵심 공정인 노광(Photo) 공정에 필요한 설비로 노광전 Glass 상부에 Coating 되어 있는 감광액(PR : Photo resist)의 Total Pitch Error (온도에 따라 감광액의 형상이 틀어지는 불량)를 방지하기 위해 Glass 표면의 온도를 일정하게 유지 시키고 노광 온도 조건을 사전에 일정하게 맞추어 주는 Unit으로 노광전의 Turn Stage, Robot Fence에 설치하는 설비이며 필요에 따라 Glass를 적재하는 Buffer 설비에도 장착할 수 있습니다. 당사의 TCU는 국내외 180여 Line에 장착되어 있으며 모든 Glass 세대에 적용 경험을 보유하고 있습니다.

    TRU (Thermal Recycle Unit)

    TRU는 FPD 제작 공정 중 사용되는 열풍 방식 Oven에 사용될 수 있는 전력량 절감 Unit 입니다. 열풍 Oven에서 버려지는 고온의 폐기 공기를 사용하여 Oven에 투입되는 상온의 깨끗한 공기를 투입전에 사전 가열하는 일종의 열교환 Unit으로 Unit 자체가 에너지를 전혀 필요로 하지 않고 폐기 공기와 투입공기가 철저히 분리 되어 있어 투입 공기의 오염이 전혀 없으며 무엇보다도 최상의 열전달 효율로 Oven에서 사용하는 전력량을 50% 이상 감소 시킬 수 있습니다.

    3D Laminator (3차원 형상 합착기)

    OLED Display Panel 제조 공정 중 3D 형상의 Cover Glass와 Flexible 재질의 OLED Panel을 합착하기 위한 설비로 3D 형상의 Flexible Pad 및 진공 Chamber, OCR(Optical Clear Resin : 광투명레진) Coating 또는 OCA(Optically Clear Adhesive) Film 합착 등의 Unit들로 구성되며 고도의 정밀도와 고가의 OLED Panel에 Damage를 최소화 할 수 있는 기술들을 복합적으로 구현한 설비입니다. 당사는 최근 Demo.기 개발을 완료하여 주요 고객 들과 양산 제품에 대한 영업 활동을 진행하고 있습니다.